全自動納米壓印光刻預處理設備,自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。
●全自動納米壓印光刻基底預處理
●機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能
●毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗
●旋涂勻膠,包含自動供膠系統、EBR、BSR等功能
●熱板烘烤、冷板冷卻功能