<sup id="283zn"></sup>
<ins id="283zn"></ins>

  • <xmp id="283zn"><video id="283zn"></video></xmp>
      <b id="283zn"><address id="283zn"></address></b>

    1. <u id="283zn"></u>
    2. <source id="283zn"></source>
        <dfn id="283zn"><source id="283zn"></source></dfn>

        產品&服務

        研發型Desktop納米壓印光刻設備 下一條 上一條 < 返回

        UniPrinter
        分享到:
        資料下載

        UniPrinter是一種專門為大學、科研院所和企業產品研發所設計,操作簡單、功能強大的臺面型納米壓印光刻設備。可實現4英寸以下基底面積上高精度(優于10nm * )、高深寬比(優于10比1 * )納米結構壓印,適合用作紫外納米壓印光刻工藝開發,器件原型快速驗證,納米壓印材料測試等研發。它沿用天仁微納量產型納米壓印設備的工藝與材料體系,在UniPrinter上開發的工藝可以無障礙轉移到天仁微納其它量產設備上進行生產。

        UniPrinter納米壓印設備適用于DOE、AR/VR衍射光波導(包括斜齒光柵)、線光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED等應用領域的研發。

        主要功能

        ● 沿用天仁微納量產型納米壓印設備的工藝與材料體系,開發的工藝可以無障礙轉移到量產設備上進行生產

        ● 直徑100mm以下面積高精度、高深寬比納米壓印

        ● 設備內自動復制柔性復合工作模具

        ● 自動壓印、自動曝光固化、自動脫模,工藝過程無需人工干預

        ● 標配高功率紫外LED面光源(365nm,光強>300mW/cm2 ),完美支持各種納米壓印材料

        ● 隨機提供全套納米壓印工藝與材料,包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結構等工藝流程,幫助客戶零門檻達到高質量的納米壓印水平


        設備照片

        33.jpg

        相關參數

        兼容基底尺寸 直徑≤100mm
        支持基底材料 硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等
        納米壓印技術 適合高精度、高深寬比納米結構壓印
        壓印精度 優于10納米*
        結構深寬比 優于10比1*
        殘余層控制 可小于10nm*
        紫外固化光源 紫外LED(365nm)面光源,光強>300mW/cm2
        自動壓印 支持
        自動脫模 支持
        自動工作模具復制 支持
        上下片方式 手動上下片


        < 返回 上一條 下一條

        相關新聞

        納米壓印光刻領頭羊天仁微納獲數千萬元戰略投資,加速布局微納光學市場
        2023-05-12
        瓏璟光電正式發布衍射光波導模組
        2021-06-11
        DELO &天仁微納研討會 | 納米壓印光刻:高折射率聚合物促成 AR 衍射光波導的大規模生產
        2023-03-15

        相關資料下載

        納米壓印解決方案小冊子

        <sup id="283zn"></sup>
        <ins id="283zn"></ins>

      1. <xmp id="283zn"><video id="283zn"></video></xmp>
          <b id="283zn"><address id="283zn"></address></b>

        1. <u id="283zn"></u>
        2. <source id="283zn"></source>
            <dfn id="283zn"><source id="283zn"></source></dfn>
            日本av在线观看