DOE

DOE作為結構光和dTOF方案3D傳感模組中最關鍵的核心元件之一，越來越多的被應用到3D人臉識別、手機3D攝像頭、深度感知等領域。

DOE是通過玻璃表面特定的納米結構對激光產生衍射作用，可以將一束激光分散成為多束光。

DOE表面的納米結構往往小于1微米，如果使用半導體行業的光刻刻蝕技術加工，設備及工藝成本都非常高。而用納米壓印代替傳統的光刻刻蝕，可以實現低成本、高良率的大規模量產。

天仁微納的GL8/12CLIV納米壓印設備以及GL300Clsuter納米壓印生產線，適用于DOE的研發與大規模量產。

工程勻光片（Diffuser）

Diffuser是iTOF式3D傳感中最核心的光學元件。iTOF式3D傳感具有體積小、測量距離遠、受環境光影響小等優點，可以應用在手機、激光雷達、倉儲物流、無人機、機器人、智慧家居、AR眼鏡等領域。

Diffuser是通過玻璃表面的微透鏡陣列來實現對光的整形，將一束點光源的激光大角度擴散成光強均勻的面型。

注塑精度低，材料耐溫性不好，無法兼容?3D傳感模組中的回流焊工藝。傳統的半導體光刻刻蝕技術又很難加工透鏡這種高度不一致的結構。納米壓印是最適合的Diffuser量產技術，精度高、材料耐溫性好、設備及生產成本低、效率高。

天仁微納的GL8MLA納米壓印設備，適用于Diffuser的大規模量產。