隨著5G的到來,增強現實(AR)眼鏡的應用場景會越來越多,比如社交媒體、通信、導航、家庭、旅游、醫療和工業等。作為一個新興產業, AR市場具有巨大的增長潛力。
在眾多AR鏡片方案中,浮雕光柵可以將鏡片做的最輕薄,而且有成熟的量產工藝,因此被認為是最有希望成為消費級產品的方案。
所謂浮雕光柵就是在玻璃片上制作一層納米級的光柵結構,用來實現所需的光波導效果。如果使用光刻刻蝕或者機加工的方法來加工這些納米級光柵,成本會非常高,時間也會很長。納米壓印是唯一可以實現低成本,高效率量產的加工技術。
AR浮雕光柵對加工設備的要求很高,比如加工精度、均勻性、可重復性、良率等。針對AR浮雕光柵鏡片,天仁微納的GL8/12CLIV納米壓印設備以及GL300Clsuter納米壓印生產線適合浮雕衍射光波導的研發與大規模生產。
因為生產效率和成本的原因,AR浮雕衍射光波導生產通常需要使用12英寸玻璃基材進行生產。原始的納米壓印模具需要使用電子束光刻和刻蝕等生產效率很低的方式制造,通常制造一個AR鏡片所需的納米壓印模具,電子束光刻就需要連續運行3-5天時間完成,12英寸面積上通常可以排布20到30個AR鏡片,使用電子束直寫制造12寸的納米壓印模具很顯然是不現實的。天仁微納的步進式納米壓印設備GL?SR300為AR衍射光波導的生產提供了模具拼接可能性,可以使用一個鏡片的納米壓印模具在12英寸基材上采用步進式壓印的方式壓印20至30次,然后使用這個12英寸的壓印片作為納米壓印的原始模具進行12英寸幅面的全幅壓印生產,可以大大提高衍射光波導的生產效率,并大幅降低模具成本,為大規模量產提供了可能性。
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