本設備主要用于膠體旋涂,烘烤等工藝。
全自動納米壓印光刻預處理設備,自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。
本設備主要應用于活化,提升附著力和清洗等工藝。
本設備主要用于晶圓清洗等工藝。
UniCoater是一種桌面型旋涂勻膠設備。
UniHotplate是一種桌面型熱板
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