由麥姆斯咨詢主辦，上海傳感信息科技有限公司和華強電子網協辦的《第34期“見微知著”培訓課程：MEMS制造工藝》，于2021年6月25日至6月27日在無錫圓滿落幕！天仁微納董事長冀然受邀擔任此次培訓課程講師，為學員講授《晶圓級光學制造工藝》。

課程伊始，冀然老師從集成電與集成光的共通之處入手，借鑒摩爾定律的發展規律和經驗，講述集成光的發展趨勢。而后，冀然老師為學員介紹了晶圓級光學制造工藝的原理與流程，以及對應的晶圓級光學元件（WLO）所用的單項工藝，如點膠、壓印、固化、脫模和刻蝕等。隨后，冀然老師為學員介紹了晶圓級光學加工的產品形態，如傳感器、攝像頭、照明領域等。通過對結構尺寸、結構精度、質量一致性以及生產成本這四方面的詳細解釋，學員更加清楚的了解晶圓級光學的加工優勢。冀然老師對關鍵制造工藝進行了詳細介紹，其中包括：光刻工藝流程、激光直寫光刻、雙光子聚合光刻、電子束直寫光刻、激光干涉光刻、單點金剛石車削加工、熱回流技術以及玻璃熱回流技術。冀然老師著重講解了每種工藝的關鍵技術點和實踐中容易出現的問題，讓學員感到收獲頗豐！隨后，冀然老師深度解讀了微光學元件中熱門的納米壓印光刻技術，對其技術要點、實現目的、工藝流程以及所用設備和材料進行了深入挖掘，并且介紹了目前納米壓印光刻技術的應用領域，對其中熱門領域下一個萬億級市場增強現實（Augmented Reality，AR）的發展趨勢進行了深入的講解。接著冀然老師為學員展示了天仁微納公司幾款納米壓印設備的演示視頻，視頻內容結合前面所提到的理論知識，使學員對納米壓印技術有了更深刻的理解。最后，冀然老師就目前納米壓印光刻技術的發展趨勢，對中國晶圓級光學制造產業鏈及加工能力進行了詳細的介紹。

冀然老師授課精彩瞬間

課程結束后冀然老師與學員們探討交流