隨著增強現實（AR）眼鏡的應用場景逐漸增多，AR眼鏡的佩戴舒適性和功能要求也越來越高。在眾多AR光波導方案中，表面浮雕光柵（SRG）可以將鏡片做到最輕薄，而且有成熟的量產工藝。表面浮雕光柵的原理是在玻璃片上制作一層納米級的光柵結構，用來實現所需的光波導效果。如果使用光刻刻蝕或者機加工的方法來加工這些納米級光柵，成本高，耗時長。納米壓印光刻是唯一可以實現低成本，高效率量產的加工技術。

青島天仁微納科技有限責任公司（Germanlitho）是專業的納米壓印光刻設備和解決方案提供商，致力于拓展納米壓印光刻技術在創新產品領域的應用，為客戶提供納米壓印光刻整體解決方案，助力客戶實現創新技術到產品的轉化。
AR衍射光波導的加工對于納米壓印光刻設備和壓印材料要求很高，因此，天仁微納與DELO公司針對光波導量產方案進行了深入研究。在天仁微納自主研發的GL300 Cluster全自動納米壓印光刻生產線上，通過使用DELO紫外固化高折射率納米壓印膠材料，實現了300mm直徑晶圓級衍射光波導納米光柵結構的壓印過程，結構填充完整，且壓印過程具有可重復性和均勻性，這一合作成功驗證了大規模生產光波導的可能性。
天仁微納受DELO 邀請，于3月23日，一起登錄直播研討會，展開技術探討。

本期研討會主題
-可用于納米壓印光刻技術（NIL)的設備有哪些？
-AR衍射光波導的母版和拼版是如何工作的？
-AR衍射光波導制造的挑戰有哪些？
-用于NIL納米壓印的高折射率聚合物具有哪些特性？
-在300mm晶圓上大規模生產AR衍射光波導的前景如何？
-用于生產AR衍射光波導的其他聚合物方案有哪些？

演講嘉賓
冀然 博士，天仁微納 董事長
Stephan Prinz 博士，DELO 產品經理
主持人
陳永樂，DELO 產品經理

直播時間：3月23日，15:30
DELO直播課堂
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https://live.vhall.com/v3/lives/watch/941284735?lang=1