明星新品——“UniPrinter”

UniPrinter設備圖

UniPrinter是一種專門為大學、科研院所和企業產品研發所設計，功能強大的臺面型納米壓印光刻設備。可實現4英寸以下基底面積上高精度（優于10nm?）、高深寬比（優于10比1?）納米結構壓印，適合用作紫外納米壓印光刻工藝開發，器件原型快速驗證，納米壓印材料測試等研發。

它沿用天仁微納量產型納米壓印設備的工藝與材料體系，在UniPrinter上開發的工藝可以無障礙轉移到量產設備上進行生產。

UniPrinter納米壓印設備適用于DOE、AR/VR衍射光波導（包括斜齒光柵）、生物芯片、LED等應用領域的研發。

Uni系列其他研發型Desktop設備

HoLoPrinter

HoLoPrinter設備圖

HoLoPrinter是一種桌面型輥對版壓印設備，最大壓印面積105*148mm，輥對版或者輥壓薄膜模式，壓印速度可達8m/min，簡單易用。

UniCoater

UniCoater設備圖

UniCoater是一種桌面型勻膠設備，最大可旋涂8英寸或者6英寸方片，最高轉速可達9000rpm（選配），操作簡單、可靠穩定。

UniHotplate

UniHotplate設備圖

UniHotplate是一種桌面型熱板，最大可烘烤8英寸或者6寸方片，溫度設定20℃~250℃，溫度設定精度1℃。